Simultaneous height, resistance and capacitance cartography of a SRAM test sample by conducting probe AFM - CentraleSupélec
Communication Dans Un Congrès Année : 2004

Simultaneous height, resistance and capacitance cartography of a SRAM test sample by conducting probe AFM

Olivier Schneegans  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://centralesupelec.hal.science/hal-00320180

Soumis le : mercredi 10 septembre 2008-14:22:43

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:50

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00320180 , version 1 (10-09-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00320180 , version 1

Citer

Pascal Chrétien, Olivier Schneegans, Frédéric Houzé, René Meyer, Lionel Boyer. Simultaneous height, resistance and capacitance cartography of a SRAM test sample by conducting probe AFM. Seing at the Nanoscale II, 2004, France. ⟨hal-00320180⟩

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