Caractérisation de profils de dopage par imagerie de résistance locale à faible force - CentraleSupélec
Communication Dans Un Congrès Année : 2005

Caractérisation de profils de dopage par imagerie de résistance locale à faible force

Frédéric Houzé
Laboratoire de génie électrique de Paris
CV
D. Mariolle
  • Fonction : Auteur
F. Bertin
  • Fonction : Auteur
Pascal Chrétien
Laboratoire de génie électrique de Paris
CV
Olivier Schneegans
Laboratoire de génie électrique de Paris

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https://centralesupelec.hal.science/hal-00320231

Soumis le : mercredi 10 septembre 2008-14:55:50

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:50

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00320231 , version 1 (10-09-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00320231 , version 1

Citer

Frédéric Houzé, D. Mariolle, F. Bertin, Pascal Chrétien, Olivier Schneegans. Caractérisation de profils de dopage par imagerie de résistance locale à faible force. 8ème Forum des Microscopies à Sonde Locale, 2005, France. ⟨hal-00320231⟩

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