Investigation of nc-Si inclusions behaviour in multilayer a-Si:H films obtained by layer by layer technique - CentraleSupélec
Article Dans Une Revue Journal of Non-Crystalline Solids Année : 2004

Investigation of nc-Si inclusions behaviour in multilayer a-Si:H films obtained by layer by layer technique

Alexander Gudovskikh
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1409909
  • IdRef : 230416667
V.P. Afanasjev
  • Fonction : Auteur
A.Z. Kazak-Kazakevich
  • Fonction : Auteur
A.P. Sazanov
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00320870 , version 1 (11-09-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00320870 , version 1

Citer

Alexander Gudovskikh, Jean-Paul Kleider, V.P. Afanasjev, A.Z. Kazak-Kazakevich, A.P. Sazanov. Investigation of nc-Si inclusions behaviour in multilayer a-Si:H films obtained by layer by layer technique. Journal of Non-Crystalline Solids, 2004, 338-340, pp.135-138. ⟨hal-00320870⟩
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