Influence of excitation waveform and oscillator geometry on the resonant pull-in of capacitive MEMS oscillators - CentraleSupélec
Communication Dans Un Congrès Année : 2013

Influence of excitation waveform and oscillator geometry on the resonant pull-in of capacitive MEMS oscillators

Résumé

The purpose of this paper is to provide a simple framework for determining the resonant pull-in of MEMS oscillators, either parallel-plate, CC-beam or cantilever, under one- sided and two-sided sinusoidal, square-wave or pulse- actuation. Furthermore, the values of the resonant and static pull-in amplitudes are calculated and tabulated, in all the considered cases.

Domaines

Systèmes dynamiques [math.DS] Micro et nanotechnologies/Microélectronique
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https://centralesupelec.hal.science/hal-00830533

Soumis le : mercredi 5 juin 2013-11:51:50

Dernière modification le : mardi 3 septembre 2024-11:16:05

Archivage à long terme le : mardi 4 avril 2017-17:12:24

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Dates et versions

hal-00830533 , version 1 (05-06-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00830533 , version 1

Citer

Jérome Juillard, Grégory Arndt, Julien Arcamone, Eric Colinet. Influence of excitation waveform and oscillator geometry on the resonant pull-in of capacitive MEMS oscillators. DTIP 2013, Apr 2013, Barcelona, Spain. pp.2-5. ⟨hal-00830533⟩

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