Structural and electrical characterization of microcrystalline silicon-carbon alloys deposited by RF-PECVD - CentraleSupélec
Communication Dans Un Congrès Année : 2013

Structural and electrical characterization of microcrystalline silicon-carbon alloys deposited by RF-PECVD

Sofia Gaiaschi
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de génie électrique de Paris
R. Ruggeri
  • Fonction : Auteur
E.V. Johnson
CV
Pavel Bulkin
Marie-Estelle Gueunier-Farret
Laboratoire de génie électrique de Paris
CV
Christophe Longeaud
Laboratoire de génie électrique de Paris
G. Mannino
  • Fonction : Auteur
Jean-Paul Kleider
Laboratoire de génie électrique de Paris
CV
P. Chapon
  • Fonction : Auteur

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https://centralesupelec.hal.science/hal-00931313

Soumis le : mercredi 15 janvier 2014-11:29:52

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:58

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00931313 , version 1 (15-01-2014)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00931313 , version 1

Citer

Sofia Gaiaschi, R. Ruggeri, E.V. Johnson, Pavel Bulkin, Marie-Estelle Gueunier-Farret, et al.. Structural and electrical characterization of microcrystalline silicon-carbon alloys deposited by RF-PECVD. E-MRS Spring Meeting 2013, May 2013, Strasbourg, France. ⟨hal-00931313⟩

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