Electrostatically-induced modal crosstalk phenomena in resonant MEMS sensors - CentraleSupélec
Communication Dans Un Congrès Année : 2014

Electrostatically-induced modal crosstalk phenomena in resonant MEMS sensors

Résumé

The aim of this paper is to introduce an explanation for the amplitude saturation and inhibition phenomena in resonant MEMS pressure sensors, via the electrostatic coupling of two resonance modes. Our analysis and experimental results reveal that these phenomena may be ubiquitous in electrostatic resonant MEMS sensors.

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]
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Alexis Brenes  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://centralesupelec.hal.science/hal-01086397

Soumis le : mardi 6 janvier 2015-10:31:20

Dernière modification le : lundi 13 février 2023-08:47:47

Archivage à long terme le : vendredi 11 septembre 2015-23:55:39

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Dates et versions

hal-01086397 , version 1 (06-01-2015)

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Citer

Alexis Brenes, Jérôme Juillard, Filipe Vinci dos Santos. Electrostatically-induced modal crosstalk phenomena in resonant MEMS sensors. 2014 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP) , Apr 2014, Cannes, France. ⟨10.1109/DTIP.2014.7056659⟩. ⟨hal-01086397⟩

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