Conducting probe atomic force microscope as a relevant tool for studying some phenomena in MEMS switches - CentraleSupélec
Poster De Conférence Année : 2014

Conducting probe atomic force microscope as a relevant tool for studying some phenomena in MEMS switches

Domaines

Physique [physics]

Thierry Leblanc  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://centralesupelec.hal.science/hal-01099238

Soumis le : jeudi 1 janvier 2015-19:23:14

Dernière modification le : mardi 3 septembre 2024-11:16:05

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01099238 , version 1 (01-01-2015)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01099238 , version 1

Citer

Alexis Peschot, Maxime Vincent, Christophe Poulain, Denis Mariolle, Frédéric Houzé, et al.. Conducting probe atomic force microscope as a relevant tool for studying some phenomena in MEMS switches. GreenBAN 2014, Nov 2014, Paris, France. Proceedings of the International Workshop on Green Solutions for Body Area Networks, pp.63 - 66. ⟨hal-01099238⟩

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