Measurement techniques of electrical quantites suited for nanocircuits
Techniques de mesure de grandeurs électriques adaptées aux nano-circuits
Résumé
This article reviews the different techniques based on atomic force microscopy that can provide information on electrical quantities with a spatial resolution close to a few nanometers or tens of nanometers. The quantities to be measured are electric current, capacitance, electric field and electric potential. Each technique is precisely described, with its strengths and weaknesses, and examples from current research in micro-electronics are given. The metrological aspects of the techniques applied to nano-circuits are emphasised, sources of error are identified, and possible ways to improve them are suggested.
Cet article passe en revue les différentes techniques fondées sur la microscopie à force atomique, capables de fournir une information électrique avec une résolution spatiale de l'ordre du nanomètre ou de la dizaine de nanomètres. Les grandeurs mesurées peuvent être le courant, la capacité, le champ ou le potentiel électrique. Chaque technique est décrite précisément au moyen d'exemples tirés de la recherche en micro-nanoélectronique, et le périmètre de ses performances est délimité. Les aspects métrologiques de telles mesures appliquées aux nanocircuits sont mis en avant, les sources d'erreur identifiées et des pistes d'amélioration proposées.