Structural and functional properties of Zn(Ge,Sn)N2 thin films deposited by reactive sputtering
| Origine | Fichiers produits par l'(les) auteur(s) |
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Article Dans Une Revue
Thin Solid Films
Année : 2020
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https://centralesupelec.hal.science/hal-02883424
Soumis le : lundi 27 juin 2022-08:43:57
Dernière modification le : mercredi 30 octobre 2024-13:29:06
Archivage à long terme le : jeudi 29 septembre 2022-16:00:20
Dates et versions
Licence
Identifiants
- HAL Id : hal-02883424 , version 1
- DOI : 10.1016/j.tsf.2020.138192
- PII : S0040-6090(20)30402-8
Citer
Nicole Beddelem, Stéphanie Bruyere, Franck Cleymand, Sebastien Diliberto, Christophe Longeaud, et al.. Structural and functional properties of Zn(Ge,Sn)N2 thin films deposited by reactive sputtering. Thin Solid Films, 2020, 709, pp.138192. ⟨10.1016/j.tsf.2020.138192⟩. ⟨hal-02883424⟩
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