Process for integrating multiple porous silicon membranes with variable characteristics into planar microfluidics - CentraleSupélec
Article Dans Une Revue Sensors and Actuators A: Physical Année : 2024
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Douglas Silva de Vasconcellos, David Bourrier, Eric Imbernon, Kata Hajdu, Yingning He, et al.. Process for integrating multiple porous silicon membranes with variable characteristics into planar microfluidics. Sensors and Actuators A: Physical , 2024, 377, pp.115715. ⟨10.1016/j.sna.2024.115715⟩. ⟨hal-04776651⟩
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