Caractérisation de profils de dopage par imagerie de résistance locale à faible force - CentraleSupélec Access content directly
Conference Papers Year : 2005

Caractérisation de profils de dopage par imagerie de résistance locale à faible force

D. Mariolle
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F. Bertin
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Dates and versions

hal-00320231 , version 1 (10-09-2008)

Identifiers

  • HAL Id : hal-00320231 , version 1

Cite

Frédéric Houzé, D. Mariolle, F. Bertin, Pascal Chrétien, Olivier Schneegans. Caractérisation de profils de dopage par imagerie de résistance locale à faible force. 8ème Forum des Microscopies à Sonde Locale, 2005, France. ⟨hal-00320231⟩
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