Deposition of microcrystalline silicon-carbon alloys by RF-PECVD and MDECR - CentraleSupélec
Communication Dans Un Congrès Année : 2012

Deposition of microcrystalline silicon-carbon alloys by RF-PECVD and MDECR

Sofia Gaiaschi
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de génie électrique de Paris
E.V. Johnson
CV
Pavel Bulkin
P. Chapon
  • Fonction : Auteur
Marie-Estelle Gueunier-Farret
Laboratoire de génie électrique de Paris
CV
Jean-Paul Kleider
Laboratoire de génie électrique de Paris
CV

Olivier Schneegans  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://centralesupelec.hal.science/hal-00779004

Soumis le : lundi 21 janvier 2013-15:57:52

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:56

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00779004 , version 1 (21-01-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00779004 , version 1

Citer

Sofia Gaiaschi, E.V. Johnson, Pavel Bulkin, P. Chapon, Marie-Estelle Gueunier-Farret, et al.. Deposition of microcrystalline silicon-carbon alloys by RF-PECVD and MDECR. E-MRS Spring Meeting 2012, May 2012, Strasbourg, France. ⟨hal-00779004⟩

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