Caracterisations structurales et electriques de μc-Si1−xCx :H deposes par RF-PECVD - CentraleSupélec Access content directly
Conference Papers Year : 2012

Caracterisations structurales et electriques de μc-Si1−xCx :H deposes par RF-PECVD

R. Ruggeri
  • Function : Author
E.V. Johnson
Pavel Bulkin
G. Mannino
  • Function : Author
No file

Dates and versions

hal-00781749 , version 1 (28-01-2013)

Identifiers

  • HAL Id : hal-00781749 , version 1

Cite

Sofia Gaiaschi, R. Ruggeri, E.V. Johnson, Pavel Bulkin, Marie-Estelle Gueunier-Farret, et al.. Caracterisations structurales et electriques de μc-Si1−xCx :H deposes par RF-PECVD. JNPV 2012, Dec 2012, Chantilly, France. ⟨hal-00781749⟩
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