Structural and electrical properties of hydrogenated microcrystalline silicon-carbon alloys deposited at low substrate temperature by RF-PECVD - CentraleSupélec
Communication Dans Un Congrès Année : 2014

Structural and electrical properties of hydrogenated microcrystalline silicon-carbon alloys deposited at low substrate temperature by RF-PECVD

Sofia Gaiaschi
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de génie électrique de Paris
Marie-Estelle Gueunier-Farret
Laboratoire de génie électrique de Paris
CV
Christophe Longeaud
Laboratoire de génie électrique de Paris
E.V. Johnson
CV
P. Chapon
  • Fonction : Auteur
Jean-Paul Kleider
Laboratoire de génie électrique de Paris
CV

Domaines

Physique [physics]

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https://centralesupelec.hal.science/hal-01099579

Soumis le : dimanche 4 janvier 2015-19:11:29

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:00

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01099579 , version 1 (04-01-2015)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01099579 , version 1

Citer

Sofia Gaiaschi, Marie-Estelle Gueunier-Farret, Christophe Longeaud, E.V. Johnson, P. Chapon, et al.. Structural and electrical properties of hydrogenated microcrystalline silicon-carbon alloys deposited at low substrate temperature by RF-PECVD. E-MRS Spring Meeting 2014, European Materials Research Society, May 2014, Lille, France. ⟨hal-01099579⟩

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