Conducting Probe Atomic Force Microscope as a Relevant Tool for Studying Some Phenomena in MEMS Switches - CentraleSupélec
Article Dans Une Revue Sensing and Imaging: An International Journal Année : 2015

Conducting Probe Atomic Force Microscope as a Relevant Tool for Studying Some Phenomena in MEMS Switches

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Frédéric Houzé  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://centralesupelec.hal.science/hal-01235862

Soumis le : lundi 30 novembre 2015-18:56:18

Dernière modification le : mardi 3 septembre 2024-11:16:05

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01235862 , version 1 (30-11-2015)

Identifiants

Citer

Alexis Peschot, Maxime Vincent, Christophe Poulain, Denis Mariolle, Frédéric Houzé, et al.. Conducting Probe Atomic Force Microscope as a Relevant Tool for Studying Some Phenomena in MEMS Switches. Sensing and Imaging: An International Journal, 2015, 16, pp.21. ⟨10.1007/s11220-015-0124-1⟩. ⟨hal-01235862⟩

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