MESURE SANS CONTACT DE LA CONDUCTIVITÉ DE SEMI-CONDUCTEURS
Résumé
Procédé de mesure sans contact de la conductivité de semi-conducteurs, ledit procédé étant mis en œuvre par: - un premier ensemble (A) comprenant un système d'émission/réception de signal (X, Y) - un deuxième ensemble (B) comprenant au moins une cible semi-conductrice (4) et un élément inducteur ( 3 ), - un troisième ensemble (C), ledit procédé comprenant au moins les étapes suivantes: a) Le premier ensemble (A) émet un signal multi- fréquentiel (X), b) Le deuxième ensemble (B) réfléchi ou transmis au moins une partie du signal multi-fréquentiel émis (X), c) Le premier ensemble (A) reçoit le signal multi- fréquentiel réfléchi (Y) par le deuxième ensemble (B), d) Le troisième ensemble (C) calcule le coefficient de réflexion ou de transmission (p, R) du signal émis (X), e) Le troisième ensemble (C) fournit la conductivité de la cible semi-conductrice (4).