Communication Dans Un Congrès
Année : 2005
Olivier Schneegans : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://centralesupelec.hal.science/hal-00321566
Soumis le : lundi 15 septembre 2008-12:24:09
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:50
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00321566 , version 1
Citer
Namita Dutta Gupta, Christophe Longeaud, A. Bhaduri, P. Chaudhuri. Study of a-C:H films deposited from methane-argon mixture on the grounded and rf powered electrodes of a rf-PECVD Unit. 13th International Workshop on the Physics of Semiconductor Devices, 2005, India. ⟨hal-00321566⟩
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