Device quality a-Si:H deposited from electron cyclotron resonance at very high deposition rates
Marie-Estelle Gueunier-Farret
(1)
,
Cyril Bazin
(1)
,
Jean-Paul Kleider
(1)
,
Christophe Longeaud
(1)
,
P. Bulkin
,
D. Daineka
,
T.H. Dao
,
Pere Roca I Cabarrocas
,
P. Descamps
,
T. Kervyn de Meerenedre
,
P. Loempoel
,
M. Meaudre
,
R. Meaudre
Marie-Estelle Gueunier-Farret
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Jean-Paul Kleider
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Christophe Longeaud
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P. Bulkin
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D. Daineka
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T.H. Dao
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Pere Roca I Cabarrocas
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P. Descamps
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T. Kervyn de Meerenedre
- Function : Author
P. Loempoel
- Function : Author
M. Meaudre
- Function : Author
R. Meaudre
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